第一百零三章 二氧化鈰 (第1/2頁)
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第一百零三章
顧律的眉頭輕輕皺起。
據他所知,這種米國新型的buehler phoenix bets型拋光機,拋光精度,應該能達到0.1奈米左右。
而據黃師傅所說,他們透過這臺裝置,拋光後得到的矽晶片,精度最高的一次才為1.06奈米。
兩者差了十倍。
這個資料不對,很不對!
一定是哪個環節出了問題。
矽晶片,準確的來說是屬於材料學領域。
但各學科之間是相互關聯的。
顧律在鑽研物理學中的半導體物理的時候,不僅研究了矽晶片中原子狀態和電子狀態以及各器件內部電子過程,還對矽晶片的整個製作流程,查閱了相當多的專業書籍和文獻。
否則,他也不會在郭院士面前,大包大攬的承接下此事。
只不過,面前的情況,確實讓顧律有些想不通。
要麼,就是裝置本身有問題,海躍公司從米國進口來的這批裝置是假貨!
但這機率不大。
要麼,就是在操作過程中,在哪個環節出了紕漏。
顧律曾在一本書中,看到過buehler phoenix bets型拋光機的結構圖紙。
顧律把眼前的裝置和記憶中圖紙上所描述的結構對比了一下,發現完全是吻合的。
那應該就不是買到假貨了。
顧律起身,拍拍手上的塵土,對黃師傅笑著開口,“黃師傅,實際上機操作一下吧,我看一下效果。”
黃師傅點點頭,幾分鐘後拿著一塊未經過拋光處理矽晶片回來。
跟著黃師傅回來的,還有幾位穿著工作服的年輕員工。
好奇的目光,打量著張經理身旁身姿挺拔的顧律。
“黃師傅,開始吧。”在幾人的注視下,顧律泰然自若,目光望向黃師傅。
拋光機的操作很簡單。
插上電源,將矽晶片擺放在相應的夾具上,最後加入拋光液。
按下紅色按鈕,啟動機器。
拋光機開始工作起來。
顧律就圍著這臺拋光機,全方位的觀察。
周圍的眾人全部屏住呼吸,靜靜的等待著。
於是乎,這片區域內,除了機器轉動的聲音外,只剩下顧律在地面上踱步的聲音。
時間在一點點流逝。
這種新型的拋光機,拋光時間是三十分鐘。
“不應該啊!”顧律摸著下巴,喃喃一聲。
眼前發生的事情,確實觸及到他的知識盲區了。
黃師傅放置的矽晶片位置,雖然在一定程度上,導致在拋光過程中切削深度的增加,但也不至於,精度會比預計的數值增加十倍。
機器的工作過程,顧律全程看下來了,也並沒有發現什麼異常。
按理說,十倍的精度差,不可能出現才對。
難道今天要翻車了?
在拋光時間快要結束的時候,顧律目光瞥了一眼黃師傅背後,接著視線緊緊鎖住那個藍色的塑膠液體瓶。
對了,拋光液!
顧律腦中靈光一閃,瞬間明白問題的關鍵所在。
在拋光過程中,除了拋光機以及被拋光的物件,用來進行輔助拋光作用的拋光液,也能極大的影響被拋光物件的精度。
往往,不同型號的拋光機,不同被拋光的物件,最適宜使用的拋光液是不同的。
“你們用的是哪種拋光液?”顧律沉聲問道。
“呃……”黃師傅愣了一下,隨口回答,“我們現在使用的奈米三氧化二鋁粉末拋光液。”
林經理一臉緊張的看向顧律,“顧先生,有什麼問題嗎?”
有問題,問題大了!
奈米三氧化二鋁粉末當做磨料,加入buehler phoenix bets型拋光機,進行單矽晶片的精密拋光,本身就是極為不智的一種舉動。
因為三氧化二鋁這個東西,實在是太硬了啊!
即便是奈米級別的三氧化二鋁粉末,硬度也不會減少。在拋光過程中,肯定會對矽晶片造成損傷。
另一方面,根據preston公式,mrr=pwnv。
拋光磨料硬度越高,對應的切削深度越大,塑性磨削作用越弱。
他想,他已經知道,為什麼使用新裝置拋光後的矽晶片,在
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